中文English
中文English

微納加工技術(shù)

微納加工技術(shù)

騰景科技現(xiàn)已建立衍射光學設(shè)計、全息光刻、激光直寫、干法刻蝕、納米壓印、鍍膜、精密切割和測試等全方位的技術(shù)能力。

 

復(fù)雜DOE的設(shè)計能力

全息光刻:孔徑40X10mm、光柵周期0.1-3000 線對/mm

激光直寫:DOE制作

干法刻蝕:介質(zhì)和金屬

納米壓?。汗鈻?、波導、偏振片

支持多種材質(zhì):各種介質(zhì)氧化物,硅,熔石英,或聚合物

用途:單色分束,光譜儀器,色散補償,CGH球差補償,

以及高能激光合束等

 

?體布拉格光柵(VBG) :  已有現(xiàn)成產(chǎn)品批量發(fā)貨

-激光鎖模,窄帶濾波
-高功率合束
-脈沖整形

?WSS 光柵:可送樣

?Diffuser/DOE:可送樣